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              項目案例 Case
              Case 激光測量案例

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統

              日期: 2022-03-15
              浏覽次數 : 11

              摘要:爲了實現50nm左右回轉誤差測量,設計了一種新型非接觸式測量系統,該系統采用光譜共焦位移傳感器,通過反向法獲得回轉軸系徑向回轉誤差、标準球圓度誤差。标準球圓度誤差測量值與标稱值的最大差值爲5nm,表明該測量系統的測量精度能夠滿足設計要求。


              關鍵詞:回轉誤差;光譜共焦位移傳感器;反向法;非接觸式;超精密回轉軸系


              0   引言

              空氣靜壓主軸在超精密機床中有着越來越廣泛的應用,是超精密機床的關鍵功能部件之一,其回轉誤差對機床加工質量有着重要影響,機床的精度越高,工件圓度誤差中由主軸回轉誤差所造成的比例越大。通過回轉誤差的測量 ,獲取主軸徑向回轉誤差形貌,有助于優化空氣靜壓主軸的加工、研磨和裝配工藝,對提高主軸回轉精度具有重要意義。


              回轉誤差測量技術,按照傳感器類型 ,可分爲接觸式和非接觸式。接觸式傳感器主要應用于精度低、轉速低的回轉軸系,非接觸式傳感器主要應用于超精密回轉軸系。空氣靜壓主軸的回轉精度通常可達到50nm以下,接觸式傳感器的接觸力會随機改變回轉誤差形貌,測量重複性差,應采用非接觸式傳感器測量。常見的非接觸式測量傳感器有電容位移傳感器、電渦流位移傳感器、激光位移傳感器、CCD傳感器、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡、激光幹涉儀等。電容位移傳感器、電渦流位移傳感器需要一定面積(電容極闆、電渦流片)去測量與距離呈相應關系的電容/電感值,反映了面與面的間隙,間距小于面寬的測量點将被均化;這兩類傳感器還需要采取嚴格的電磁幹擾屏蔽措施,才能獲得nm級分辨率。


              激光位移傳感器的精度較低,難以滿足50nm以下回轉誤差測試 。激光幹涉儀需要增加額外的光路,光學鏡組調節較難,受環境和人爲影響大。基于CCD傳感器的測量法需要進行圖像處理,且受限于CCD分辨率,無法用于50nm以下回轉誤差測量。掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡的分辨率小于01nm,但價格昂貴;而且這兩類儀器的采樣率一般在100Hz以下,隻能實現低速測量,爲了保護價格昂貴的掃描頭,往往需要将轉速限制到1r/min以下。爲構建一套轉速在300r/min以下、回轉誤差在50nm以下的主軸回轉誤差測量系統,采用非接觸式光譜共焦位移傳感器作爲高度測量,非接觸式圓光栅作爲角度測量 ,通過标準球反向法,分離出回轉誤差。


              1     測量原理

              11标準球反向法測量原理

              如圖1所示 ,标準球輪廓中心O1繞回轉中心參考點O旋轉,參考點O相對傳感器是不變的 ,距離爲常量C,标準球輪廓爲R(θ),軸系回轉誤差爲ε(θ),傳感器反向前測量值爲H1(θ),反向後測量值爲H2(θ),相對起始點A的回轉軸變化角度爲θB點旋轉180°後位于C點。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              H1(θ)+(θ)+ε(θ)C          (1)

              将标準球 、傳感器反向後,O點與傳感器的相對距離發生改變 ,增量記爲ΔC。回轉軸不動,故角度θ不變。

              H2(θ)+(θ)+ε(θ)=C+ΔC     (2)

              由式(1)(2)可得,

              (θ)=1/2(2C+ΔCH1(θ)H2(θ))       (3)

              ε(θ)=1/2(H2(θ)H1(θ)ΔC)            (4)

              标準球圓度誤差記爲Δ(θ),測量起始點A的輪廓尺寸爲R(0)

              (θ)=(θ)-R(0)                  (5)

              ΔR(θ)=1/2(H1(0)+H2(0)H1(θ)H2(θ))   (6)


              1.    2光譜共焦位移傳感器(CCS)測量原理

              如圖2所示,當擋闆小孔與光源相對半透鏡成鏡面對稱關系時 ,白光點光源經平面鏡照射到透鏡上,形成彙聚點。折射率的差異,導緻彙聚點沿光軸方向的距離不同。隻有恰好彙聚到樣品表面的單色光可原路返回,經平面鏡反射,穿過擋闆小孔處,到達頻譜儀,由頻譜儀測量出單色光對應的波長λ

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              對于理想小孔(孔徑無限小),樣品表面測量點位于高度H(a)處,單色光λa(單線标示)能穿過小孔;測量點位于高度H(b)處 ,單色光λb(雙線标示)能穿過小孔;測量點位于高度H(c)處,單色光λc(三線标示)能穿過小孔 。Hλ呈一一對應關系。通過納米光栅尺或者标準納米台階樣件校準即可得到相應的函數關系 。實際小孔的孔徑有大小誤差Δr,測量時從頻譜儀上可以看到一定寬度Δλ的複色光λ+Δλ)


              當小孔與光源相對平面鏡不呈鏡面對稱關系時,隻有成像點在樣品前或後的某個位置的單色光才能通過小孔,原路返回的單色光反而不能通過小孔。能通過小孔的單色光 ,在樣品表面無法彙聚成一點 ,若其寬度過大,有可能形成非理想反射,部分光線将偏離理想路徑,Δλ變大,導緻測量誤差變大。


              2     測量系統

              2.    1測量系統組成

              根據标準球反向法和CCS控制器特性,構建非接觸式測量系統。系統由工控機、驅動、角度測量、高度測量、夾持工裝調整單元組成 ,如圖3所示。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              工控機單元實現Z軸、C軸運動控制、參數設置、數據采集、結果顯示等功能。工控機單元配有PCI軸控制卡,可控制電動機運動。驅動單元由C軸驅動器 、Z軸驅動器組成。角度測量單元由回轉軸、增量式圖光栅組成。回轉軸C軸采用皮帶驅動方式,電動機選用伺服電動機。高度測量單元由CCS控制器和CCS傳感器組成。CCS控制器将圓光栅的原點信号作爲CCS數據采集的啓動信号,保證每次測量起始點都在圓光栅原點處 。CCS控制器通過USB口或RS232接口将采集的角度、高度數據傳輸給工控機,由工控機上位軟件進行數據處理。Z軸實現CCS傳感器Z(豎向)粗調心,夾持工裝的XYZ向精調心采用手動調節機構實現。主軸回轉誤差測量系統實物見圖4

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              2.    2同步方式實現信号采集

              采用反向法最關鍵的難點是角度值和高度值的同步,要保證同步誤差導緻的相位差小于0。同步實現信号采集既可采用軟件方式,也可采用硬件方式。當采用軟件方式實現時 ,可采用絕對式圓光栅采集角度信号,由Windows操作系統的高精度定時(1ms或者1μs)中斷觸發角度、高度采集,由于Win-dows操作系統不是實時操作系統,在測量300r/min的回轉誤差時,定時中斷必須小于55μs,才能保證同步誤差在可接收範圍内。當采用硬件方式實現時,CCS控制器直接采集圓光栅的正交信号 ,角度與高度之間的同步觸發由CCS控制器内部采樣電路實現如圖5所示。與軟件同步方式相比,硬件同步方式既減小了上位機操作系統同步時鍾誤差,又減小了CCS控制器通過USB通訊線纜傳送高度數據産生的延遲誤差,還克服了上位機無法按照嚴格的等時間隔訪問CCS控制器内部采樣寄存器數據的缺點,大大減小角度、高度的采樣時間差,對于中低速回轉誤差測量具有非常重要的意義。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              由于CCS接收角度信号采用單端接法實現,隻用到A+B+Z+信号,信号電纜應采取良好的屏蔽措施 。電動機動力線纜與CCS采集信号線纜之間相隔在100mm以上,走向呈正交位置關系。


              3     測量軟件

              3.    1測量流程

              啓動測量後,連續采集25圈數據(5圈作爲一組數據進行處理),生成TXT數據文檔 ,反轉标準球和傳感器,再連續采集25圈數據(5圈作爲一組數據進行處理),生成TXT數據文檔。對兩組數據進行濾波,由式(4)(6)計算出回轉誤差ε(θ)、标準球圓度誤差Δ(θ)。測量流程,如圖6所示。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              32測量界面

              測量軟件後台處理測量流程,測量軟件界面(7)顯示采集參數設置 、測量方法選擇、測量數據所生成的圖像、測量結果。測量參數設置區可設置電動機轉速 、單次采集圈數、采樣頻率。測量方法選擇區可選擇3種測量方法:單點法、反向法和三點法。圖像顯示區以笛卡爾坐标顯示反向前、後消偏心的高度值曲線 ,分别以笛卡爾坐标、極坐标顯示分離出的主軸回轉誤差曲線、标準球圓度誤差曲線。結果顯示區顯示5組主軸回轉誤差值、标準球圓度誤差值。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統


              4     測量結果

              CCS控制器采樣率1kHz,标準球圓度誤差出廠值36nm。整套測量系統位于精密空氣彈簧隔振台上 ,隔振台位于精密測量用隔振地基上,測量系統置于封閉外罩内。分别對三套軸(A、軸B、軸C)進行了測量  ,測量結果如表1、圖810所示。

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統

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              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統



              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉誤差測量系統



              如表1,對每組的連續5圈數據進行均值化處理後 ,不同軸系分離出的标準球圓度誤差平均值分别爲003500410037μm,與出廠标稱值(36nm)最大差值爲5nm。表明該測量系統具有非常高的測量精度和重複性。


              5     結語

              基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式測量系統,是一種結構簡單、測量精度非常高的測量系統。該系統通過反向法獲得回轉軸徑向回轉誤差 、标準球圓度誤差。經濾波掉系統性誤差(主要爲偏心)并進行均值化處理後 ,不同軸系的回轉誤差最大差值爲8nm,表明該測量系統具有非常高的精度和重複性,可用于回轉軸系50nm左右徑向回轉誤差測量。


              在不同回轉軸系下,分離出的标準球圓度誤差平均值相對出廠值的最大差值僅爲5nm。該測量系統還可用于50nm以下标準球赤道附近的小範圍圓度誤差測量 。當标準球測量點的緯度較高時,受CCS傳感器和标準球輪廓尺寸限制,爲了獲得最佳的反射效果,需要傳感器軸線處于被測緯度的法線上,因此,若要測量标準球完整緯度的圓度誤差,還需要增加CCS傳感器軸線轉軸。


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              • 4
                2019 - 02 - 26
                在很多的加工企業當中用到的電子系統都需要各類傳感器作爲重要儀器,當今比較知名的激光位移傳感器也是逐漸成爲了很多産業的常見設備,比如3d激光位移傳感器呈現的立體化加工功能實現了很多優質的加工工藝 。這也是深受顧客歡迎的激光位移傳感器品牌商吸引客戶的關鍵。那麽本文現在要教各位的是如何科學正确地驗收所購買的激光位移傳感器:首先、看設備做工品質一般來說拿到激光位移傳感器貨品之後需要仔細檢查設備各個部分的品質,具體來講就是考察激光位移傳感器的材料應用和做工工藝的水平如何。這是确保所拿到的激光位移傳感器是全新且各方面參數合格的關鍵過程。其次、看參數數據在對外觀各方面工藝進行檢查的同時也需要配合了解相關的參數數據,這個是評估激光位移傳感器設備核心的内部工藝品質的關鍵。兩方面的考察有助于對激光位移傳感器基本的品質和品質達标水平進行全面評估。然後、進行科學測試當然要特别強調的是還需在專業技術人員的支持下對激光位移傳感器進行科學測試,主要的内容包括其各個功能的運行效果以及整個設備的抗壓能力等等,而設備安全狀态及可調式狀态等都是要測試的重點内容之一。綜合地講爲保證激光位移傳感器後續的更好應用就需要對其進行科學驗收,具體說就是要在全面檢查設備各個部分的做工品質和工藝呈現水平的基礎上 ,對其核心數據和各方面參數的達标率質量進行客觀的評估,然後再以科學的方式對激光位移傳感器設備進行各部分功能和設備運行穩定性的測試...
              • 5
                2019 - 07 - 24
                衆所周知精密測序和數據的檢驗尤爲常見,而光學測試原理則在目前的數據檢驗之中更趨普及,由于這種别具特色的檢測方式相應的檢測精準度和實際的反應效果等都得到了更好的表現。例如目前品質可靠的激光位移傳感器則在使用過程之中承擔了重要的作用 ,而以下幾個影響激光位移傳感器效果的因素等也受到了人們深刻的關注。1.設備本身的偏差程度和理論值據悉在任何産品生産的過程其本身都有着一定的理論值設計,而在相應的安裝和具體的條件影響之下可能會産生一定的偏差。而目前售後服務質量好的激光位移傳感器對于這種小位移偏差量進行了精準的監控,相應的分辨值和相應的測量精準度都有了更好的保障。因此用戶爲了獲得更加精細的檢測效果  ,則可以針對目前可靠的激光位移傳感器的變量和誤差值進行了解。2.周圍環境的震動沖擊和溫度不同的環境會對設備傳感器的精準度産生影響,而該種裝置所能夠承受的環境變量和具體的光線等因素也是需要考慮的重點。從目前高質量激光位移傳感器的使用方式了解可以發現,其環境之中的反光性和其光線效果等都會影響到其後續的使用,因此在目前激光位移傳感器的選擇和安裝過程之中需考慮曝光的時間和測量信号的環境再實現應用投入 。簡言之高品質的激光位移傳感器需要利用在更加穩定的環境之中,才能夠契合環境屬性達成高品質使用感和精細放心的安全體驗 ,就此而言用戶需要對這種裝置的品質和精度進行了解考慮,保證其本身的測量能夠達成更高的要求和高速度高頻率...
              • 6
                2019 - 11 - 25
                激光焊接具有能量密度高、加熱區小以及可以進行長距離焊接,還擁有激光焊縫跟蹤系統 ,能夠更加精準的對各種材料進行焊接,所以已經逐漸被機械制造、航空航天等行業所應用。那麽,專業的激光焊縫跟蹤系統爲什麽可以保證焊接的精确度呢?1、跟蹤傳感器精确定位在激光焊接自動實施的過程中 ,測量系統必須要具有很強的實時性,否則就無法對焊接過程進行控制,而激光焊縫跟蹤系統當中擁有精度很高的跟蹤傳感器,此傳感器能夠快速的識别出焊縫 ,而且還能将焊縫的實際位置準确定位出來,爲焊縫的跟蹤提供有效目标。2、擁有專業的運動控制器若是隻有跟蹤傳感器,那麽激光焊縫跟蹤系統隻能識别并定位出焊縫的具體位置,但是無法對焊槍的運動實施控制 。爲此,激光焊縫跟蹤系統中配備了運動控制器,利用專業的硬件結構以及運動控制原理和方法,對焊接過程實施有效控制,從而确保可以實時跟蹤焊縫 。3、執行機構對偏差進行适時調整激光焊縫跟蹤系統是一個完整而且是結構十分嚴謹的相同,在對焊縫進行有效跟蹤的過程中 ,除了有跟蹤傳感器和運動控制器之外,激光焊縫跟蹤系統還有機械結構合理的執行機構,從而可以保證對跟蹤結果的偏差進行實時調整 ,讓系統能夠對焊縫進行有效的實時跟蹤。通過此篇文章的介紹大家就能了解,爲什麽現在激光焊縫跟蹤系統在各個行業中會大受歡迎。畢竟,每個需要對産品進行焊接處理的企業都希望獲得更加精準和省時省力的焊接,而使用口碑好的激光焊縫跟蹤系統就可以完美實現...
              • 7
                2020 - 03 - 16
                在工業應用中,經常會使用激光測距傳感器,因爲這種傳感器可以檢測到非常微弱的光信号,并且還會記錄、處理從光脈沖發出到返回被接收的時間,從而對目标距離進行準确的測量。那麽,在使用性價比好的激光測距傳感器之時需要注意什麽問題呢?1、注意使用檢查并避免使用有故障的儀器如果激光測距傳感器已經存在故障 ,或者被猛烈撞擊過、私自改造過,那麽在測距的時候就有可能導緻結果有誤差。因此,在使用激光測距傳感器的時候一定要注意對其進行檢查 ,在确認傳感器沒有任何異常情況之後再使用,以免出現檢測結果有誤差的問題。2、注意測距時不要瞄準強光源或反光物體表面雖然大家需要獲得準确額距離測量結果,但是大家也要注意保護好自己的健康 ,所以,在使用激光測距傳感器對物體的距離進行檢測的時候,要注意不要将其直接瞄準強烈的光源,或者金屬、鏡面以及棱鏡等可以放光物體的表面,否則,操作者的眼睛容易受到反射光的傷害。3、注意避免對不合适的物體表面進行測量對不合适的物體使用激光測距傳感器來測距 ,獲得測量結果可能不會準确 。因此,要想獲得理想的數據結果就要注意避開一些不合适的表面,例如粗糙的表面;透明的表面;潮濕、光滑或高光澤的物表面等等。要想獲得準确的距離測量結果,大家不僅要使用受人稱贊的激光測距傳感器,而且在用其來測量距離的時候還一定要注意先做一番檢查,避免因爲使用有故障的傳感器而導緻測距失誤。此外,還應該注意不要将傳感器瞄準強光和鏡面反...
              • 8
                2020 - 05 - 29
                機器視覺檢測智能化程度高,這一點毋庸置疑,不僅能節約不少人力成本,還對該領域内的檢測格局産生着潛移默化的影響,故銷售态勢一再提升。一般情況下建議客戶詳細參閱機器視覺檢測的選購事項,容易構建出清晰準确的選購思路,盡可能減少選購期間遇到的誤區。提醒在正式選購前,将該檢測方式的特點掌握到位,能避免遺漏掉細小環節。1、擁有較高靈敏度令不少客戶反複糾結的問題是如何選擇好的機器視覺檢測 ,如果能及時明确清楚靈敏度的高低,就能把不達标的檢測儀器剔除在選項之外。機器視覺檢測不像市場中的普通檢測設備,即便被檢測物體的距離隔得很遠,也絲毫不影響檢測功能的正常發揮。2、得出的測量數據精準但凡經過機器視覺檢測後的物品所得出的相應數據相對比較精準 ,參考價值高,這也是很多客戶選擇它的理由,如果數據存在較大偏差,很有可能會導緻參數出錯。現階段,專門負責研發機器視覺檢測的機構仍在做調試工作,旨在進一步升級其性能。3、日常維護工作簡單機器視覺檢測對應的維護工作并沒有想象中那般繁雜,真正操作過的人才感觸較深,與普通設備的維護工作并無二緻,定期實施的難度不大。售賣機器視覺檢測的機構也會及時提醒客戶 ,依次注明需注意的維護重點,客戶隻用按部就班執行即可。大多數人從未靜心探究過機器視覺檢測的特點,可在本文的幫助下明晰模糊的認知體系,重新看待機器視覺檢測的獨特之處。很多人在采購期間容易犯的錯誤是違背客觀事實,做不到實事求是,導緻...
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              激光測距傳感器‍的工作原理是怎樣的 2020 - 10 - 26 激光測距傳感器‍可以做到不接觸測量快速出結果,在實際的測量過程當中有許多物體會出現間歇性的位移變化,一些變化并不是勻速變化,同時變化也不具有規律性,所以傳感器需要快速的捕捉變化的情況對被測物體進行移動速度的測量,在不允許接觸的情況下仍可對其實行重點監控,那麽長距激光測距傳感器‍的工作原理是怎樣的呢?1、收光激光三角反射式的測量原理基于簡單的幾何關系,來自激光二極管的激光束照射在被測量物表面。 由激光測距傳感器反射的光線通過一組透鏡投影到受光元件矩陣上,受光元件可以是CCD/CMOS或PSD元件。反射光線的強度取決于被測物體的表面特性。爲此模拟元件PSD的敏感度需要進行調節,而對數字元件CCD傳感器,使用激光測距傳感器‍實時表面補光技術可以瞬時改變接收光強 。2、分析解讀小量程激光測距傳感器‍探頭到被測物體的距離可以由三角計算法則精準得到,采用這種方法能夠得到微米級的分辨率。根據不同型号,測量得到的數據會由外置或内置控制器通過多種接口進行評估。點激光傳感器投射到被測物體上形成一個可見光斑,通過這個光斑可以非常簡便的安裝調試探頭,因此激光測距傳感器‍被應用到非常多的領域,成爲精密距離測量的熱門選擇。根據不同設計,光學測量允許測量距離較寬。根據測量任務的需要,可以選擇非常小的量程,但是具有極高測量精度。或者選擇大量程激光測距傳感器‍,但是測量精度會有所下降。在激光測距傳感器‍工作過程當中會...
              激光位移傳感器的問題介紹 2020 - 10 - 23 關于激光位移傳感器有諸多那單元和細節,比如它可以分爲内部處理單元、發射回傳單元、激光接收器的接收單元和分析單元等,由于它可以在單位時間内發出大量的激光脈沖,因此需要同樣快速的接收脈沖返回到接收器當中,近些年來爲了大幅縮減激光位移傳感器的處理時間,在傳感器接收器上做了多重優化,使其在長距離檢測時也可以短時間内完成。1、爲什麽用激光位移傳感器激光位移傳感器發展趨勢‍極快,爲了維持玻璃的平坦性,必須在更寬廣的範圍内進行精準的控制溫度,這是因爲如果在玻璃基闆内産生溫度差,那麽将會産生殘留應力,而造成爲彎曲等玻璃變形的,或者在切割時讓玻璃出現變形,影響了玻璃基闆的穩定性,并且還有可能因爲殘留應力的結果,在制程中貼付偏光闆之後,會産生光的相位差,造成LCD模組出現漏光的現象 。國産激光位移傳感器‍廠家稱應力作用會造成于玻璃表面的傷痕,也會讓基闆産生破損的結果。2、使用激光位移傳感器有什麽技術優勢通過使用激光位移傳感器可以成功測量透明材質的平坦度,從而彌補了傳統激光位移傳感器在透明材質或鏡面反射測量上的不足,增加了激光位移傳感器新的應用領域。全息傳感器基于獨特的錐光全息專利技術,優于現有各種工業應用的标準距離測量方法。該傳感器可靠、準确,不包含運動部件 。與标準的三角法相比,在測量系統中有共線性和低電子噪聲依賴性兩大優勢。非接觸式距離傳感器用于激光打标、焊接、鑽孔和切割系統的自動對焦。另外關于激光位...
              激光位移傳感器的作用有哪些 2020 - 10 - 22 激光位移傳感器可在生産線上進行灌裝水平的檢測,在制造過程中當灌裝産品通過傳感器時可以檢測是否灌裝完畢,當生産線與傳感器的安裝線平行時,傳感器測得的距離差越大物體的直線度越差,該傳感器利用激光束反射面的擴展程序,可以準确識别灌裝産品的灌裝是否合格以及産品的數量是否正确。1、尺寸測定機關位移傳感器在進行尺寸測量的時候采用振動分析,可以對汽車等高等級産品進行相關的測試和實驗,另外對于一些工業産品可以實現實時的動态監測,另外一些中高等級的器件狀态與産品的性價比和價位息息相關,激光位移傳感器可以與機械手或其他的工業附加品相互配合形成一整套的監控系統,既可以對生産器械進行監控來避免其發生故障,又可以對産品進行質量檢驗避免厚度或長度等參數異常。2、均勻度的檢查激光位移傳感器的使用方法相對來說要更加簡單,尤其在測量工件運動的傾斜方向時可以一次性測量多個運動工件,另外它可以迅速甚至實時的将測量值進行輸出,另外它使用軟件計算出的度量值誤差相對來說較小,并可以根據數據輸出情況實時的優化和調整數據的結果以保證結果的長期穩定,除此之外激光位移傳感器還可以與各類掃描儀相互配合使用,一個負責讀出數據另外一個可以及時的對其他的原件尺寸和完整性及精準度進行測試。這對于同類的位移傳感器來說均不可能實現,然而激光位移傳感器除了可以測量單組數據外,甚至多組數據共同測量時也可以保證精準性。激光位移傳感器還可測量物體的直線度...
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